北方华创申请图形化衬底专利，降低PSS侧壁粗糙度
健康知识 2026-01-29786未知admin
金融界2024年10月29日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“图形化衬底的表面处理方法和图形化衬底的刻蚀方法”的专利，公开号CN118825146A，申请日期为2023年4月。
专利摘要显示，本发明提供了一种图形化衬底的表面处理方法和图形化衬底的刻蚀方法，涉及LED芯片制造技术领域，为解决PSS侧壁的粗糙度较大的问题而设计。图形化衬底的表面处理方法包括：通入惰性气体，利用电离的惰性气体轰击图形化蓝宝石衬底；通入氧化气体去除有机副产物；通入修饰气体修饰图形化蓝宝石衬底表面。本发明提供的图形化衬底的表面处理方法可以降低PSS侧壁的粗糙度。
本文源自金融界